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上海先进半导体制造公司:工艺水分质利用助力企业节水增效

2024-12-31 15:10  来源:上海市水务局

上海先进半导体制造有限公司位于漕河泾高新技术开发区,是一家大规模集成电路芯片制造企业。企业高度重视节水工作,秉承绿色、生态、文明思想,积极开展节水技改,对废水等进行回收再利用。

企业将超纯水系统产生的浓水回收至浓水箱,通过水泵和中水回用管网将浓水输送至废气洗涤塔以及冷却塔作为补水使用,节水量达160立方米/日。2023年企业投资5万元将纯水反冲洗水回收利用至废水提升泵补水,该泵为保障全厂生产工作稳定性,须保持24小时不间断运行,当废水抽完时补充自来水以避免其空转,现使用反冲洗水代替自来水,有效降低自来水补充量,实施后节水量约100立方米/日。企业将纯水系统水箱溢流水回收利用至回收水水箱,再回用至CUB原水池,将纯水、仪表水排水回收至纯水脱碳水箱,节水量约80立方米/日;将废水收集后经过沉淀、多介质过滤、保安过滤、UF过滤等处理措施达到回用水质要求后再用于洗涤塔,实施后节水量约为300立方米/日。

企业开展智慧水务平台建设,远传水表覆盖主要用水单元和生产设备,具备瞬时流量、累积流量实时工控机采集、记录生成报表功能,极大地提高了用水管理效率。企业每日晨会对前日用水情况进行汇报分析,同时对节水政策进行宣贯;开展节水培训活动,培养员工节水意识,共同探讨节水优化方案,提升企业用水效率,在办公室、卫生间、食堂等场所张贴节水宣传标语。在“世界水日”“中国水周”期间,企业积极开展相关节水宣传活动,在官网播放节水宣传视频,张贴海报和横幅等。

通过不断加强节约用水工作,开展多项废水回用措施,2023年企业单位产品用水单耗为1.45立方米,万元产值耗水量从2021年的13.57立方米下降至11.31立方米,实现经济效益与节水效益双赢。


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